熊本大学工学部附属 工学研究機器センター

Engineering Research Equipment Center

トップページへ

熊本大学へ

熊本大学工学部へ

設置機器一覧

工学研究機器センター3Fの設置機器

電子線マイクロアナライザ 島津製作所 EPMA-1720H

本装置は、細く絞った電子線束を試料表面に照射することで放射される特性X線の波長と強度をX線分光器で測定し、その微小部に含まれる元素を定性・定量する分析機器である。
電子銃はCeBix、分光器は5ch.-10個を備え、検出対象元素は5B〜92Uである。またカソードルミネッセンス分光装置(モノクロ型)や回転傾斜ステージ、薄膜定量分析等のオプションも装備している。

機器室名:EPMA室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


断面イオンミリング 日立ハイテクノロジース E-3500

本装置は、試料にアルゴンイオンビームを照射することで、試料上部に配置された遮蔽板端面に沿って平坦な断面を作製する装置である。
これにより、機械研磨や切削では取り除けない細かな傷や歪みを除去することが可能であり、主としてSEM、EPMA用の断面試料作製に用いる。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


実体顕微鏡 ライカマイクロシステムズ M205C

本装置は、実体顕微鏡の中でも高分解能を有し、1×対物レンズ、20.5X ズームで7.8倍〜160倍の観察が可能である。
本センターでは、断面イオンミリングE-3500用の高精度な位置決めに用いているが、一般的な観察にも利用している。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


自動研磨装置 ビューラー メタザーブ250 + ベクトルLC250

本装置は、顕微鏡観察用の試料(金属、セラミックス、鉱物等)を自動研磨する装置である。
研磨盤は8インチ、自動研磨用試料ホルダは、φ25およびφ32に対応可能である。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


精密切断機 ビューラー アイソメット

本装置は、顕微鏡観察用の試料(金属、セラミックス、鉱物等)を精密切断する装置である。
最大で32mmまでの切断が可能である。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


プラズマクリーナー YHS-R

本装置は、SEMやEPMAで観察を行う際に見られるハイドロカーボンによる試料汚染を、酸素プラズマにより除去する装置である。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


金スパッタリング・カーボン蒸着装置 日立ハイテクノロジース E-1010

非導電性物質をEPMA等で観察しようとすると、チャージアップが発生し観察が困難となる。このチャージアップを防止するためのコーティング装置である。非導電性試料にコーティングしたい材料をターゲット(本装置は金,白金,カーボン)として、数Paの低真空中で放電させると生成されたプラスイオンが陰極に入射して、ターゲットをスパッタする。この結果、ターゲット材料で試料表面がコーティングされる。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


ユニバーサルズーム顕微鏡 ニコン MULTIZOOM AZ100

本装置は、垂直視で精細な観察画像が取得できるモノズームの光学顕微鏡である。
5〜500倍の倍率で透過照明及び反射照明の観察ができる。また、偏光板を備えており微分干渉観察が可能である。

機器室名:試料作製室

管理責任者:佐藤 徹哉(技術部)内線:3879

E-Mail:


 


熊本大学工学部附属工学研究機器センター

Copyright (C) engineering research equipment center. All Rights Reserved.