熊本大学工学部附属 工学研究機器センター

Engineering Research Equipment Center

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設置機器一覧

先進材料ナノ構造解析システム室の設置機器

透過型電子顕微鏡 FEI TECNAI F20

本装置は、高輝度なFE電子銃から照射された電子線を200 kVまで加速させて、試料を透過した電子線を拡大・結像させることで原子構造の観察や分析を行う装置である。
透過型電子顕微鏡観察以外にも、走査透過像観察 (STEM)、明視野 / 暗視野像 (BF /DF)、高角環状暗視野像 (HAADF)の観察が可能であり、また分析装置としてEDXによる点、線、面分析が可能である。

機器室名:先進材料ナノ構造解析システム室

管理責任者:津志田 雅之(技術部)

E-Mail:内線:3518


集束イオンビーム (Focused Ion Beam) 株式会社日立ハイテクノロジーズ NB5000

本装置は、SEMにイオン銃を装着させたもので、収束させたGaイオンビームを走査して試料表面の特定領域を研削加工するものである。
加工以外にも、特定領域へのC, Wの成膜やプローブによる試料の採取、イオンビーム照射により発生した二次電子を画像として観察することが可能である。
さらに、反射電子検出器およびEBSD検出器も備えている。

機器室名:先進材料ナノ構造解析システム室

管理責任者:山室 賢輝(技術部)

E-Mail:内線:3518


 


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