本装置は、高輝度なFE電子銃から照射された電子線を200 kVまで加速させて、試料を透過した電子線を拡大・結像させることで原子構造の観察や分析を行う装置である。
透過型電子顕微鏡観察以外にも、走査透過像観察 (STEM)、明視野 / 暗視野像 (BF /DF)、高角環状暗視野像 (HAADF)の観察が可能であり、また分析装置としてEDXによる点、線、面分析が可能である。

先進材料ナノ構造解析システム室

津志田 雅之(技術部)

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