熊本大学工学部附属 工学研究機器センター

Engineering Research Equipment Center

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設置機器一覧

ULSIプロセス実験室およびULSIプロセス評価室

ULSIバーチャルファクトリー

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二次イオン質量分析器 SIMS

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電子損失分光装置 HREELS

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イオン分光装置

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レーザー共焦点顕微鏡 CAISIS

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超高真空エッチング装置 UHV etching

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分子構造解析室

X線光電子分光装置 サーモエレクトロン株式会社 SigmaProbe

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X線回析室

走査型蛍光X線分析装置 株式会社リガク ZSX PrimusII

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粉末X線回折装置 株式会社リガク Ultima IV

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微小・薄膜X線回折装置 株式会社リガク SmartLab

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ICDD検索システム PDF-4 +2016

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3Dプリンタ 株式会社キーエンス アジリスタ3110

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分光光度計室

分光光度計 株式会社島津製作所 UV-3600

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SEM室

走査型電子顕微鏡 日本電子株式会社 JSM-6390LV

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凍結乾燥装置 日本電子株式会社 JFD-300

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イオンスパッタリング装置 日本電子株式会社 JFC-1100E

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EPMA室・試料作製室

電子線マイクロアナライザ 株式会社島津製作所 EPMA-1720H

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断面イオンミリング 株式会社日立ハイテクノロジーズ E-3500

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実体顕微鏡 株式会社ライカマイクロシステムズ M205C

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自動研磨装置 ビューラー メタザーブ250 + ベクトルLC250

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精密切断機 ビューラー アイソメット

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プラズマクリーナー YHS-R

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金スパッタリング・カーボン蒸着装置 株式会社日立ハイテクノロジーズ E-1010

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ユニバーサルズーム顕微鏡 株式会社ニコンインステック MULTIZOOM AZ100

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FIB・FE-SEM室

集束イオンビーム (Focused Ion Beam) 株式会社日立ハイテクノロジーズ NB5000

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電界放出型走査電子顕微鏡 日本電子株式会社 JSM-7600F

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TEM室

透過型電子顕微鏡 FEI TECNAI F20

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自然科学研究科研究棟 電子顕微鏡室102

透過型電子顕微鏡 日本電子株式会社 JEM-2100plus

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